火狐体育首页进入:一种新紧凑型高功率EUV光源运用潜力不行小嘘

　　极紫外(EUV)光试验一般只能在贵重的大型仪器设备中进行。近来，德国耶拿科学家Robert Klas开发了一种紧凑的EUV激光模块，可以用来发生这种特别的光。这一突破性的研讨在半导体制造业和显微镜等相关设备的研制方面潜力巨大。

　　此前，研讨者多选用同步加快器来取得EUV光，该研讨设备具有整个房子巨细的体积。而根据此办法，研讨者在试验室工作台巨细的设备中就能发生EUV光。

　　在研讨过程中，Klas将高功率超短脉冲光纤激光器发生的激光，经过高次谐波呼应转换成EUV光，并将高功率激光会集在一个惰性气体中。在此过程中，电子在几百阿秒内加快。

　　Klas已在试验室环境中测试了该效果的首个潜在运用——无镜头显微镜，特别是几纳米范围内的成像。他表明：“咱们在13.5 nm的曝光波长下完成了18 nm的分辨率，而传统的光学显微镜一般只能完成略低于500 nm的分辨率。在一项试验中，咱们取得了100×100 μm的‘视界’，这意味着其可以掩盖足球场巨细的图画，并在其间找到一枚硬币。”

　　运用根据EUV的显微镜，可以生成被研讨样品的五颜六色图画。经过这种办法，研讨人员可以调查细胞内部，并区别不同元素或不同物质的份额，如碳或脂类。

　　该研讨供给了迄今为止试验室规划上最强的类激光EUV光源，平均功率达10 mW。与Klas刚开始攻读博士学位时的同类体系中最大功率比较，此EUV光源的功率高出一百倍。

　　Klas表明，该研讨效果有望推进芯片能量和存储功率以及生物学、医学等范畴的开展，并有望研讨不同类型的病毒。“在某种程度上，咱们还期望可以运用这种办法对直径约为2 nm的DNA进行成像。”

　　这一突破性研讨在半导体制造业和显微镜等范畴具有巨大运用潜力，因而被颁发雨果·盖革奖(Hugo Geiger Award)。