近日,华工激光为半导体行业再添利器,达成半导体芯片领域激光表面处理的首单。该设备采用高精度飞秒激光,使用极低脉冲能量,针对半导体材料表面进行微米范围内的激光改质处理,从而极大改善半导体光电器件的性能。目前设备已投入使用,获得客户的肯定与好评!
半导体是现代社会的重要组成部分,我们日常使用的笔记本电脑、计算机或智能手机上,半导体都在其中发挥了重要作用。
晶圆就如同半导体的母体,其生产制造的精度,将直接影响半导体的质量,而激光加工对于确保半导体生产质量起着至关重要的作用。
华工激光全面布局半导体行业赛道,致力于为中国芯片事业注入新动力!打造众多半导体行业智能制造的专精特新。
应用于半导体行业——Si、GaAs、InP、GaN等单质半导体和化合物半导体材料的表面切割。
适用于高成本、窄沟道(≥20um)化合物半导体SiC、GaAs、LiTaO3 等晶圆芯片的内部改质切割,如硅麦芯片、MEMS传感器芯片、CMOS芯片等。
应用于半导体行业40nm及以下的low-k晶圆的表面开槽,适用于表面需要进行划线或者开槽加工的半导体晶圆(预切割)。
工欲善其事,必先利其器。今后华工激光将持续打造“国产替代、行业领先”的产品,为半导体封测段制程提供专精特新的激光装备,助力行业客户迈向产能自动化、智能化!返回搜狐,查看更多
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